無論是實驗室制得的氣體、還是鋼瓶中的氣體，在使用之前都必須預先純化以除去痕量其他氣體雜質。并需要防止塵埃污染和吸濕。高純氣體污染主要發生在貯藏、運輸和計量的過程中。保持高純氣體的質量的關鍵是謹慎處理高純氣體。在實際工作中，要使高純氣體不受污染，需要有許多嚴格的控制措施，在條件許可的實驗室都應設置專用的貯氣室，將氧化性氣體與還原性氣體分開放置，將可燃性氣體與不可燃氣體分開放置，以防止意外爆炸事故發生。在使用高純氣體時，為保證高純氣體不受污染或將污染減少到最低程度，應注意下列問題。

　　選用合適的壓力調節閥和傳輸管道壓力調節閥要求。嚴密不漏氣，輸出壓力穩定；調節閥與氣體接觸部分的構件具有耐腐蝕性；在閥內或管道內配備過濾器（如燒結金屬過濾器或微孔過濾系統），以便濾除微粒，減低顆粒物質在高純氣體中的含量。

　　傳輸管道應盡可能采用潔凈的金屬管如不銹鋼或聚四氟乙烯管。管子安裝只能用聚四氟乙烯扎帶。

　　嚴格清洗氣體傳輸系統的各組成部分，必須事先用合適的去油脂溶劑如三氯乙烯清洗管道等部件上的微粒、油污、吸附物、水分等。各部件組裝后在使用這這前，應抽空并用惰性氣體如干燥的氮氣來吹洗用以除去水氣等雜質。限定氣瓶的使用的最低壓力，因為在高壓下氣體中的雜質可能吸附在氣瓶內壁上，而當氣瓶壓力下降時，被吸附在內壁上的雜質會解吸下來，因而，應限定氣瓶最低的使用壓力。

　　在使用過程中，要經常檢查氣瓶和傳輸系統的密閉性，若發現漏氣，應及時采取措施。

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